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[SR: 1904226], Hardcover, [EAN: 9780521652148], Cambridge University Press, Cambridge University Press, Book, [PU: Cambridge University Press], Cambridge University Press, This self-conta… Plus…

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1999, ISBN: 9780521652148

Hardcover, Neubuch, VIB, [PU: Cambridge University Press]

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Données bibliographiques du meilleur livre correspondant

Détails sur le livre
Soft X-rays and Extreme Ultraviolet Radiation. Principles and Applications
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ISBN:

0521652146


This self-contained, comprehensive book describes the fundamental properties of soft x-rays and extreme ultraviolet (EUV) radiation and discusses their applications in a wide variety of fields, including EUV lithography for semiconductor chip manufacture and soft x-ray biomicroscopy. The author begins by presenting the relevant basic principles such as radiation and scattering, wave propagation, diffraction, and coherence. He then goes on to examine a broad range of phenomena and applications. The topics covered include EUV lithography, biomicroscopy, spectromicroscopy, EUV astronomy, synchrotron radiation, and soft x-ray lasers. He also provides a great deal of useful reference material such as electron binding energies, characteristic emission lines and photo-absorption cross-sections. The book will be of great interest to graduate students and researchers in engineering, physics, chemistry, and the life sciences. It will also appeal to practicing engineers involved in semiconductor fabrication and materials science.

Informations détaillées sur le livre - Soft X-rays and Extreme Ultraviolet Radiation. Principles and Applications


EAN (ISBN-13): 9780521652148
ISBN (ISBN-10): 0521652146
Version reliée
Date de parution: 1999
Editeur: Cambridge University Press

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ISBN/EAN: 0521652146

ISBN - Autres types d'écriture:
0-521-65214-6, 978-0-521-65214-8
Autres types d'écriture et termes associés:
Auteur du livre: attwood david
Titre du livre: soft rays extreme ultraviolet radiation principles applications, soft rays and extreme ultraviolet radiation

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