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Handbook for Cleaning for Semiconductor Manufacturing: Fundamentals and Applications
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Handbook for Cleaning for Semiconductor Manufacturing: Fundamentals and Applications - nouveau livre

ISBN: 9780470625958

ID: 978047062595

This comprehensive volume provides an in-depth discussion of the fundamentals of cleaning and surface conditioning of semiconductor applications such as high-k/metal gate cleaning, copper/low-k cleaning, high dose implant stripping, and silicon and SiGe passivation. The theory and fundamental physics associated with wet etching and wet cleaning is reviewed, plus the surface and colloidal aspects of wet processing. Formulation development practices and methodology are presented along with the applications for preventing copper corrosion, cleaning aluminum lines, and other sensitive layers. This is a must-have reference for any engineer or manager associated with using or supplying cleaning and contamination free technologies for semiconductor manufacturing. From the Reviews... This handbook will be a valuable resource for many academic libraries. Many engineering librarians who work with a variety of programs (including, but not limited to Materials Engineering) should include this work in their collection. My recommendation is to add this work to any collection that serves a campus with a materials/manufacturing/electrical/computer engineering programs and campuses with departments of physics and/or chemistry with large graduate-level enrollment. —Randy Wallace, Department Head, Discovery Park Library, University of North Texas Books, Science and Nature, Handbook for Cleaning for Semiconductor Manufacturing: Fundamentals and Applications Books>Science and Nature, Wiley

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Handbook of Cleaning in Semiconductor Manufacturing: Fundamental and Applications (Wiley-Scrivener) - Karen A Reinhardt, Richard F Reidy
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Karen A Reinhardt, Richard F Reidy:
Handbook of Cleaning in Semiconductor Manufacturing: Fundamental and Applications (Wiley-Scrivener) - edition reliée, livre de poche

ISBN: 0470625953

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Handbook of Cleaning in Semiconductor Manufacturing: Fundamental and Applications (Wiley-Scrivener) - edition reliée, livre de poche

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ISBN: 0470625953

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Détails sur le livre
Handbook of Cleaning for Semiconductor Manufacturing: Fundamental and Applications
Auteur:

Reinhardt, Karen A.; Reidy, Richard F.

Titre:

Handbook of Cleaning for Semiconductor Manufacturing: Fundamental and Applications

ISBN:

This comprehensive volume provides an in-depth discussion of the fundamentals of cleaning and surface conditioning of semiconductor applications such as high-k/metal gate cleaning, copper/low-k cleaning, high dose implant stripping, and silicon and SiGe passivation.

Informations détaillées sur le livre - Handbook of Cleaning for Semiconductor Manufacturing: Fundamental and Applications


EAN (ISBN-13): 9780470625958
ISBN (ISBN-10): 0470625953
Version reliée
Date de parution: 2011
Editeur: John Wiley & Sons
590 Pages
Poids: 1,193 kg
Langue: eng/Englisch

Livre dans la base de données depuis 18.05.2011 23:09:14
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ISBN/EAN: 0470625953

ISBN - Autres types d'écriture:
0-470-62595-3, 978-0-470-62595-8


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