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Arrays miniaturisierter Elektronenoptiken mittels Halbleiter- und Mikromechaniktechnologien für die parallele Elektronenstrahl-Lithographie - nouveau livre

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Détails sur le livre
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3897222213

Informations détaillées sur le livre - Arrays miniaturisierter Elektronenoptiken mittels Halbleiter- und Mikromechaniktechnologien für die parallele Elektronenstrahl-Lithographie


EAN (ISBN-13): 9783897222212
ISBN (ISBN-10): 3897222213
Livre de poche
Date de parution: 1999
Editeur: Logos Verlag Berlin

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ISBN/EAN: 3897222213

ISBN - Autres types d'écriture:
3-89722-221-3, 978-3-89722-221-2
Autres types d'écriture et termes associés:
Auteur du livre: gross, harald groß
Titre du livre: die lithographie, halbleiter

Données de l'éditeur

Auteur: Harald Gross
Titre: Arrays miniaturisierter Elektronenoptiken mittels Halbleiter- und Mikromechaniktechnologien für die parallele Elektronenstrahl-Lithographie
Editeur: Logos Berlin
92 Pages
Langue: Allemand
35,00 € (DE)
36,00 € (AT)
62,79 CHF (CH)
Not available (reason unspecified)

BC; PB; Hardcover, Softcover / Physik, Astronomie/Elektrizität, Magnetismus, Optik; Elektrizität, Magnetismus und Elektromagnetismus; Halbleitertechnologie; Elektronenoptik; Elektronenstrahllithographie; Mikromechanik

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